潔凈室規劃建設，亦稱為無塵室或清凈室規劃建設。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間。其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除；并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。
一、研究對象
工業潔凈室研究對象為灰塵、粒子等一次污染。生物潔凈室里的微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發二次污染（代謝物、糞便）。
二、控制方法及凈化措施
工業潔凈室主要是采取過濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學過濾器。生物潔凈室主要是采取鏟除微生物的生長條件，控制微生物的滋生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等。
三、控制目的
工業潔凈室控制有害粒子濃度。生物潔凈室控制微生物的產生。繁殖和傳播，同時控制代謝物。
四、對生產工藝的危害
工業潔凈室的關鍵部位只要一顆灰塵就能造成產品的極大危害。生物潔凈室則不同，有害微生物達到一定濃度后才能構成危害。
五、潔凈室建筑材料的要求
工業潔凈室的所有材料（墻、頂、地等）不產塵、不積塵、耐摩擦。生物潔凈室的所有材料應耐水。耐腐且不能提供微生物滋生和繁殖條件。
六、對人和物進入的控制
工業潔凈室內人進入要換鞋、更衣、吹淋。物體進入要清洗、擦拭。人和物要分流，潔和污要分流。生物潔凈室內人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌。物體進入要清洗、擦拭、滅菌。空氣進入要過濾、滅菌、人物分流，潔污分流。
七、檢測
灰塵粒子可用粒子計數器檢測瞬時粒子濃度并顯示打印。生物潔凈室微生物檢測不能測瞬時值。須經48小時培養才能讀出菌落數量。
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